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来源:华滤环保_液体过滤凯发官网登陆的解决方案 发布时间:2015-09-29 15:39:53

典型应用a:化学品过滤

在半导体制造中化学品过滤,主要有两个方面的挑战,首先是过滤材料对化学品的适应能力,不得当的材料选择,会造成重大的质量事故,而用于半导体的化学品多为强酸、强碱和一些腐蚀性极强的物料,所以包括过滤容器在内,多使用pvdf(聚偏氟乙烯)和ptfe(聚四氟乙烯)材料。另外一个方面就是对精度的挑战也达到了极限,0.04/0.1/0.22μm的过滤是经常被使用的,而且其去除效率要达到99.9999%,而且在极端条件下的cod析出值也要控制在ppb等级。

由于洁净度的高要求,就在化学品的转运的没个环节几乎都安排了过滤器,在供应商运送物料的槽车上,在输送的管路上;到每一个使用设备的进料口,都严格按要求提供。



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